½Å¿øÅ×Å©  

 
Ȩ / »ç¾÷¼Ò°³ / Vacuum »ç¾÷
½Å¿ø±â¼úÀº ¿À»çÄ«Áø°ø»ç¿Í 1998³âºÎÅÍ µ¶Á¡Àû ¼ö¸® °è¾àÀ» ü°áÇÏ°í Çѱ¹ ³»¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ¿À»çÄ«Áø°øÀÇ turbomolecular pump¿¡ ´ëÇØ ÀϺ»ÀÇ ¼ö¸®¼¾ÅÍ¿Í µ¿ÀÏÇÑ Àåºñ¿Í ¼÷·ÃµÈ ÀοøÀ¸·Î ¾çÁúÀÇ ¼­ºñ½º¸¦ Á¦°øÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
 

¿À»çÄ«Áø°ø ¼Ò°³

  ÀϺ»ÀÇ ¿À»çÄ«Áø°øÀº ¿ª»ç°¡ 50³âÀÌ ³ÑÀº Áø°ø±â±âÁ¦ÀÛ Àü¹®±â¾÷ÀÔ´Ï´Ù. ƯÈ÷ turbomolecular pumpºÐ¾ß¿¡¼­ ¼¼°èÃÖÃÊ, ¼¼°èÃÖ°í ¶ó´Â ´Ü¾î°¡ ³¸¼³Áö ¾ÊÀº ¼±µÎÀûÀÎ ±â¼úÀ» °¡Áø ¾÷üÀÔ´Ï´Ù.

¿À»çÄ«Áø°ø¿¡¼­ Á¦ÀÛÇÑ Ã·´Ü Áø°ø±â±âµéÀº °¢ »ê¾÷üÀÇ ÇöÀå°ú ´ëÇÐ, ¿¬±¸¼Ò¿¡¼­ ±× ½Å·Ú¼ºÀ» ÀÔÁõ ¹Þ°í ÀÖÀ¸¸ç ƯÈ÷ Á¦Ç°ÀÇ ½Å·Ú¼º°ú ³»±¸¼º ¸é¿¡¼­ ´Ù¸¥ ¾÷ü¿Í Â÷º°È­ µÇ°í ÀÖ½À´Ï´Ù
 
Åͺ¸ ºÐÀÚ ÆßÇÁ¶õ?
  Åͺ¸ ºÐÀÚ ÆßÇÁ´Â °í¼ÓȸÀüÇÏ´Â Åͺó ºí·¹À̵å¿Í Ç︮Į ±×·çºê, ¶Ç´Â ÀÌ µÎ °¡Áö¸¦ °áÇÕ½ÃŲ ·ÎÅ͸¦ »ç¿ëÇÏ´Â ±â°è½Ä Áø°øÆßÇÁÀÔ´Ï´Ù. ±âü ºÐÀÚ°¡ ºí·¹À̵忡 ÀÇÇÏ¿© ·ÎÅÍ Ç¥¸é°ú Ãæµ¹ÇÏ¿© ¹èÃâµÇ´Â ±¸Á¶ÀÔ´Ï´Ù.
 
Åͺ¸ ºÐÀÚ ÆßÇÁÀÇ Æ¯Â¡°ú ÀåÁ¡
  1. ¿ÀÀÏÀ» »ç¿ëÇÏÁö ¾Ê°í ÃÊ°í Áø°øµµ ´Þ¼º
2. ¸ðµç ±âü Á¾·ù¿¡ ´ëÇÏ¿© °ÅÀÇ ÀÏÁ¤ÇÑ ÆßÇÎ ¼Óµµ
3. ÈñÀ¯±âü¿Í ºÎ½Ä¼º ±âü ÆßÇÎ °¡´É
4. ´ë·®ÀÇ ±âü ó¸® °¡´É
5. ³ÐÀº ¿îÀü ¾Ð·Â ¹üÀ§

¿À»çÄ« Áø°ø Åͺ¸ºÐÀÚ ÆßÇÁÀÇ Æ¯Â¡°ú ÀåÁ¡
  1. Ź¿ùÇÑ ³»±¸¼º
2. ½Å·ÚÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±ä ¼ö¸í
3. ÃÊ°íµµÀÇ Áø°øÀ» ½±°Ô ¾òÀ» ¼ö ÀÖÀ½
4. Á¡¼º ¸ÅÁúÀÇ °í¾ÐÃàºñ ´Þ¼º
5. ³ôÀº ºñ¿ë ´ëºñ ¼º´É
6. ´Ù¾çÇÑ ¿ëµµ¸¦ Áö¿øÇÏ´Â ±¤¹üÀ§ÇÑ Á¦Ç° ±Ô°Ý